氯化氢

如何保障用气设备处的微氧含量符合要求

    高纯气体对于纯度要求颇高，那么对于掺杂其中的杂质气体或者是多种气体的配比，改如何测定呢？

    高纯气体中微量氧的分析，除采用气相色谱法检测外，常常采用在线的专用微氧分析仪，对高纯气体中的微氧杂质进行连续的监测，此种微氧分析仪一般安装在高纯气体制取设备或纯化设备出口，用以监测获得的高纯气体中的微氧含量是否符合规定的要求。
    另外也常常安装在高纯气体的输送管路的始、末端，用以监测高纯气体输送过程的污染状况，以确保用气设备处的微氧含量符合规定的要求。

    对于高纯气的配比以及测定，是保障日后生产中安全运行的关键。