氯化氢

选用粒度适中的硅粉很重要

    三氯氢硅生产合成中，用到的材料其特殊性，直接关系到三氯氢硅的产品品质，以及合成过程的正常运行。

    影响三氯氢硅生产合成的因素主要有：温度、氧和水分的影响、游离氯的控制、硅粉粒度、料层高度和氯化氢流量。以下针对影响因素作简要概述。
    硅粉粒度

    硅粉与氯化氢气体反应是在硅的表面进行的，硅粉比表面积越大，越有利于反应，即要求硅粉粒度应该较小。但是粒度过小，流化时容易形成聚式流化床，有较多的气泡，将抑制传质进行，使氯化氢的一次转化率降低，同时，较小的颗粒迅速反应，很快就达到带出粒径范围，使硅粉的利用率降低。因此，选用粒度适中的硅粉是很重要的。
    综上所述，氯化氢作为其中重要的合成材料之一，在整个合成过程中是需要特别注意安全防护的。