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99.999%无水氯化氢
氯化氢气体说明:
5.0N电子级氯化氢装于钢瓶中的液化气体,遇水强腐蚀性,强刺激味,吸入毒性。保质期:18个月
危险性类别:第2.3类,有毒气体
外观与性状:无色气体,有强烈刺激性气味;暴露在空气中,吸收空气中的水分,形成酸雾,有强腐蚀性。
产品用途:大规模集成电路生产中,单晶硅片气相抛光,外延基座腐蚀。
氯化氢包装规格:
氯化氢使用要求:
1、使用时瓶阀排气嘴与生产装置紧密连接,以防气体泄漏。开启瓶阀时,要缓慢打开阀门。
2、使用环境温度在-10℃至40℃(根据用量调整使用方案)。
3、避免阳光暴晒,与明火距离不小于10米。
4、瓶内气体不得用尽,应保留0.8Mpa以上的压力。
5、对于间歇生产的用户,停止使用氯化氢时应关紧瓶阀,用高纯氮气置换,将管路内的氯化氢置换干净,并保持氮气正压。氯化氢气体用完后,先用高纯氮气置换,将管路内氯化氢置换,卸下钢瓶,关闭管路阀门,保持管路内高纯氮气正压。安装瓶嘴保护帽和瓶阀保护帽。
6、用户不得自行换阀和维修钢瓶、瓶阀。
7、氯化氢专用钢瓶严禁改装充装其他气体;用户应保证我公司钢瓶不流入其他气体厂家,非我公司钢瓶不得退还我司。
8、钢瓶瓶体和瓶阀严禁污染油污等污染物。
9、使用过程中气体流量过大或钢瓶排气过快,钢瓶和管路结霜是正常现象,可用热水喷淋瓶体,水温不能超过45℃。如用户使用量大,请联系我司,我司有专用供气装置。
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